高溫動(dòng)態(tài)柵偏老化測(cè)試系統(tǒng)(DHTGB2010)

試驗(yàn)溫度

室溫~200℃（熱板形式加熱）

老化測(cè)試區(qū)

8區(qū)(可擴(kuò)容)

單區(qū)工位

12（典型）

試驗(yàn)方法

VDS =0V
VGS, off = VGS, min, recom and VGS, on =VGS, max

VGS電壓控制檢測(cè)

試驗(yàn)控制范圍:±30V

檢測(cè)誤差:±(1%±2LSB);電壓分辨率:0.01V

脈沖控制

1.脈沖頻率(方波): 0~500kHz; 精度: 2%±2LSB

(最大頻率取決于電壓, DUT電容)

2.方波占空比20%~80%; 精度: ±2%

3.動(dòng)態(tài)DGS試驗(yàn)時(shí)柵極電壓斜率可達(dá)dv/dt>1V/ns (Ciss＜5nF)

4.電壓過沖<10% (測(cè)試電壓幅度大于25V)

閥值電壓VGSTH

1..VGS電壓測(cè)控范圍: 1~10V (100nA~50mA恒流源）

2.分辨率為0.01V, 精度: 1%±0.01V

IGS漏電流檢測(cè)

檢測(cè)范圍: 1nA~99.9uA

第一檔1nA~99nA 分辨率1nA 漏電流測(cè)量誤差: 1%±2LSB

第二檔100nA~999nA 分辨率10nA 漏電流測(cè)量誤差: 1%±2LSB

第三檔1uA~99.9uA 分辨率100nA 漏電流測(cè)量誤差: 1%±2LSB

整機(jī)供電

三相AC380V±38V

整機(jī)重量

700Kg(典型)

整機(jī)尺寸

800mm(w)x1400mm(D)x1950mm(H)